クリーンルーム
クラス10000
走査型電子顕微鏡
JEOL JSM-6010PLUS/LA
原子間力顕微鏡
Bruker Innova
光学顕微鏡
Nikon OPTIPHOT200
フェムト秒レーザー
NKT Photonics ORIGAMI 10XP
フェムト秒レーザー
Spectra-Physics Mai Tai
フェムト秒レーザー
Spectra-Physics Tsunami
ナノCMM
高谷・水谷研究室開発