大阪大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 統合設計学系 ナノ加工計測学領域

クリーンルーム

クラス10000
 

走査型電子顕微鏡

JEOL  JSM-6010PLUS/LA
 

原子間力顕微鏡

Veeco  Dimension 3100
 

光学顕微鏡

Nikon  OPTIPHOT200
 

フェムト秒レーザー

Spectra-Physics  Mai Tai
 

フェムト秒レーザー

Spectra-Physics  Tsunami
 

ナノCMM

高谷・水谷研究室開発